삼성디스플레이, 55인치 TV용 증착 장비 도입 현황

AMOLED 선구자이며 독점적인 위치를 확보하고 있는 삼성디스플레이에 55인치 TV용 AMOLED 생산을 위한 3호기 SMS 증착장비가 올 9월 입고될 예정이다.
현재 삼성디스플레이는 SMS 장비를 2대 보유하고 있으며 ULVAC에서 제작한 장비를 사용하고 있다. 현재까지의 장비는 아직 양산성이 확보되지 않아 제품 개발에 매우 어려움을 겪고 있다. 3호기는 SFA에서 제작 중에 있다.이 장비는 9월중에 입고될 예정이며 시험 테스트를 거쳐 2013년부터는 본격적인 양산에 투입될 것으로 예상 된다.
SMS 3호기 입고에 맞추어 대부분의 장비들 역시 9월에 입고될 예정이다.SMS 장비는 삼성디스플레이가 독자적으로 개발한 장비로서 in-line 방식으로 연속 증착이 가능한 장비이다.

삼성디스플레이는 현재 LTPS TFT 기판과 SMS 증착장비로서 55인치 패널을 개발중에 있으며, LTPS 기판은 Gen8 (2200×2500) 크기로서 55인치 패널이 6장 제작 가능하다. SMS 장비는 기판 크기가 55인치 1장이 제작 가능한 730×1250 사이즈로 알려져 있다.

SMS 장비는 기존 증착장비 회사가 제작하고 있는 장비와는 달리 증착물질을 증발 시키는 소스와 마스크가 일체형으로 붙어 있으며, RGB를 색상 별로 패터닝하여 제작할 수 있는 기술이다.

현재 증착방식에서 가장 큰 문제는 대면적용 마스크 제작이 어려운점이나 이 방식은 조그만 크기의 마스크로서도 대면적 패널 생산이 가능하다.