[SID 2017] OLEDON, 단국대학교와 공동으로 차세대 초고해상도 패터닝 증착기술 개발 성공
OLEDON
지난 SID 2017에서 단국대학교의 진병두 교수와 단국대학교 겸임 교수이자 OLEDON의 대표인 황창훈 박사는 0.38 um의 shadow distance(SD) 구현이 가능한 면소스 패터닝 증착 기술 개발에 성공했다고 발표했다.
황창훈 대표는 과거 2016 IMID Business forum에서 면소스 패터닝 증착 기술과 100 um두께의 shadow mask로 1.1 um의 shadow distance 구현에 성공했다고 발표한 바 있다. 당시 황창훈 대표는 ‘Step height를 3 um까지 줄인다면 이론상 shadow distance를 0.38 um까지 구현할 수 있어 OLED panel의 해상도는 2250ppi이상 가능해질 것이다’고 설명한 바 있다.
이 발표는 실제 plane source를 적용하여 SD를 0.38um까지 구현한 실질적인 결과이므로, 양산 적용 가능성을 한층 높인다는 점에서 이번 SID 2017에 참석한 업계 관계자들의 큰 관심을 모았다.
현재의 OLED panel 양산 기술은 약 3 um의 shadow로 인해 QHD(약 600ppi) 이상의 해상도를 구현하는데 한계가 있다. 3 um shadow는 UHD급(800ppi이상) AMOLED 패터닝 공정 시, 미세 인접 패턴들의 중첩을 발생시켜 미세패턴밀도를 향상을 저하시킨다. 이로 인해 현재 OLED panel은 QHD급만 생산되고 있다.
OLEDON이 개발한 면소스 패터닝 증착기술이 양산에 적용된다면 shadow 거리를 0.38~0.56 um까지 줄일 수 있어 해상도를 기존보다 약 8배 향상할 수 있다. 또한, 향후 스케일업 개발을 통해 대면적 OLED 디스플레이 생산산업에 응용된다면 3300ppi 이상의 초고해상도를 가지는, 수퍼울트라(SUHD) 해상도를 가지는 마이크로 AMOLED소자의 제조가 가능하다.
![](http://www.olednet.com/wp-content/uploads/2017/05/170531_1_logo.jpg)
<면소스 증착기술로 얻은 세도우 데이터>
황창훈 대표는 ‘고 진공환경에서 금속면에 유기물을 1차 증발, 증착하여 유기분자박막을 형성한 후, 이를 재 증발하여 기판에 2차 코팅 증착하는 아이디어를 활용하여 유기물 분자빔의 증발각을 최소화하는 조건을 발견하게 되었다’라고 밝혔다.
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<SID2017에서 황창훈 대표가 발표한 면소스의 원리>
최근 디스플레이의 해상도에 대해 많은 관심이 집중되고 있어, OLEDON의 연구결과는 업계에 큰 파장을 불러올 것으로 전망된다.
한편, 황창훈교수는 증착기 전문 업체를 거쳐 25년동안 신개념의 증착기술을 개발해오고 있으며, 면소스 증착기술의 원천특허(하향식 열적유도 증착에 의한 선형의 유기소자 양산장비: 등록번호 101206162000)를 보유하고 있다.
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